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陶瓷载盘

主要用于硅片、蓝宝石片、碳化硅片、砷化镓片、锗片、氮化镓片等半导体晶圆的减薄研磨及CMP抛光制程。

所属分类：

吸盘

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产品详情

产品名称：陶瓷载盘

应用领域：主要用于硅片、蓝宝石片、碳化硅片、砷化镓片、锗片、氮化镓片等半导体晶圆的减薄研磨及CMP抛光制程。

配套设备：可与日本、德国、以色列、美国、韩国及国产的减薄机、划片机、清洗机配套使用。

产品特点：1、材料性能好;2、产品精度高;3、使用寿命长。

基体材质可选：铝合金、不锈钢、工程陶瓷。并可根据用户要求设计和定制各种非标吸盘。

关键词：

减薄盘

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