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QSD1030


主要用于半导体封装行业的专用切割设备,针对QFN、BGA、PCB 板等设计的具备大行程,自动识别的专用设备,配备大功率直流主轴,可切割难加工产品。

所属分类:

6/8/10寸系列

产品详情


10寸划片机: QSD 1030

应用行业:

  该设备适合加工的产品有硅晶圆、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、晶体、PCB板等。

  主要应用领域:二级管、三极管、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、光学、晶体、QFN。

机型特点:

  l 大功率高扭矩直流空气静压主轴,可满足高负载,难切割材料的精密加工;

  l 桥型结构,提高设备刚性,消除主轴温升误差;

  l 功能齐全,具备刀破检测装置、非接触测高装置,自动识别对准功能;

  l 双显微镜配置,倍率可选,针对不同工件可方便切换;

  l 针对QFN,BGA 器件的切割,设计特殊的对准及划切功能。

技术指标:

设备型号

QSD1030

加工尺寸

Φ12”或300X300mm

主轴

转速范围

5000-60000RPM

输出功率

1.8KW

X轴

驱动方式

伺服电机

有效行程

300mm

划切速度

0.01-800mm/s

Y轴

驱动方式

伺服电机+光栅尺

有效行程

300mm

分辨率

0.0001mm

单步精度

0.002/5mm

累计精度

0.004/300mm

Z轴

驱动方式

伺服电机+光栅尺

有效行程

25mm/Φ53

分辨率

0.001mm

T轴

驱动方式

DD 马达

转角范围

0-320°(可选380°)

分辨率

0.0004

重复定位精度

3”

主轴固定方式

龙门

功能配置

· 测高回路检测报警功能      · 自动划切

· 断点续划切功能                · BBD功能

· 修单盘功能                       · 自动寻边

· 预划切                              · 自动崩边检测

· 扫码远程加载参数功能      · 自动刀痕校正

· 自动对焦                          · 在线磨刀功能(选配)

· NCS功能

应用领域

二极管、三极管、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、光学、晶体、QFN

加工材料

硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、晶体、PCB板

基础规格

电源

三相AC380V±10% 功率5kw

压缩空气

压力0.5~0.8MPa

平均流量:300L/min

切割水

压力0.2-0.4 MPa 平均流量:3L/min

冷却水

压力0.2-0.4 MPa

平均流量:1.5Lmin

排风量

5m³/min

外形尺寸

1080mmx1040mmx1900mm

重量

900±5%(kg)

设备精度:

切割直线度 0.003mm / 280mm  
工作盘平整度 0.008mm/Φ200mm  0.010mm/□260mm
XY轴垂直度 0.015mm/200mm
Y轴步进精度 单步0.002 / 5mm
累积0.005 / 300mm
主轴法兰与X轴平行度 0.001mm / 30mm  

 

功能配置:

  1、测高回路检测报警功能

  2、断点续划功能

  3、修刀盘功能

  4、预划切功能

  5、扫码远程加载参数功能

  6、自动对焦功能

  7、非接触测高功能(NCS)

  8、刀具破损检测功能(BBD)

  9、自动寻边功能

  10、自动崩边检测功能

  11、自动刀痕校正功能

使用环境:

环境温度 机器应安装在25°摄氏度的环境中。最好是恒温无尘车间。
电压 380V±10%三相交流电(可选配220V±10%单相交流电)。
压缩空气 1.使用过滤度在0.01um/99.5%以上的压缩空气。冷干机除湿,空气压力0.5MPa-0.8MPa。
2.进气管:φ12mm无色透明管,离地高度115mm。
切割水 1.切割水的水温控制在室温±2°C,压力0.2-0.4MPa,可采用自来水,废水处理后直接排放。
2.切割进水管:φ12mm蓝色透明管,离地高度115mm。
3.排水管:直径φ50mm蓝色弹簧软管,离地高度615mm。
主轴冷却水 1.冷却水(主轴冷却)采用纯水机循环供水,水温控制在室温±2°C,压力0.2-0.4MPa。
2.冷却水管:进、出均为φ8mm蓝色透明管,离地高度115mm。
抽雾管 抽雾管直径φ80mm蓝色弹簧软管,抽雾能力1.5m³/min,离地高度1060mm。
周围环境 设备避免安装在鼓风机、通风口、产生高温和油雾的设备旁边。

关键词:

QSD1030

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